����

����ע����Σ�MIM)

��ĩұ������

���y���T����( �\���X)

�����T��

�Cе�ӹ�

����s��

��

��

��

��

��

*���

0.5 mm

1mm

0.8mm

2mm

0.5 mm

����ֲڶ�

1μm Ra ��

��

��

5μm Ra��

��

�C���

��

��

��

��

��

���Ͽ��x��

��

��

��

��

��

�ܶ�

95~99%

< 95%

100%

100%

100%

���ܶ�

��

��

��

��

��

������

��

��

��

��

��

���a��

��

��

��

��

��

�ɱ�

��

��

��

��

��

                  ����ע���������������ߴ繫��